Chamber vibration system for semiconductor process equipment

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DONGLING[㈜팜테크] / ES-40-370LT

한국산업기술시험원

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진동가진기
(1) Rated peak force(kgf)
- 최대 사인시험 용량: 40 kN (peak) 이상
- 최대 랜덤시험 용량: 40 kN (RMS) 이상
- 최대 충격시험 용량: 120 kN (반정현파 @6ms) 이상
(2) 주파수 범위(Hz): 5 to 2,800 Hz 이상
(3) 최대 변위(mm): 50 mm(Peak to Peak) 이상
(4) 최대 속도(m/s): 2.0 m/s 이상
(5) 최대 가속도(g): 130 g peak 이상
(6) 최대 적재 하중(kg) : 500 Kg 이상
테이블
- 크기: 800mm x 800m
- 재질: Magnesium alloy
복합환경 온습도 챔버
(1) 내부 Size: 1,000 x 1,000 x 1,000 (WxDxH mm)
(2) 온도 범위: -50 ℃ ~ 150 ℃
(3) 습도 범위: (25 ~ 95) % R.H.
(4) 온습도 조절 능력: ±0.5 ℃, ±3.0 % R.H.
(5) 온도 하강속도: 150 ℃ ∼ -40 ℃ 일 때, 10.0 ℃/min(Linear)
(6) 온도 상승속도: ?40 ℃ ∼ 150 ℃ 일 때, 10.0 ℃/min(Linear)

본 장비는 온도, 습도의 급격한 변화 및 진동 시험 조건에서 반도체 공정 장비 및 부품의 성능검증 및 내환경 평가를 위한 시험장비로써 (?50 ~ 150) ℃ 구간에서 10 ℃/min 이상의 온도변화율 구현 가능
2Sine dwell, Sine sweep, Broadband random, Narrowband random, Sine on random, Random on random 시험 가능